MSA-650 IRIS Micro System Analyzer

Superieure scheiding van de afzonderlijke lagen

De MSA-650 IRIS turn-key meetoplossing bestaat uit een controller, een functiegenerator met extra referentiekanalen, een krachtige softwaresuite voor optisch scannen en een optische sensorkop met een geavanceerd IR-optisch ontwerp. Met zijn speciale IR-camera en een SLD-bron met lage coherentie is dit het beste systeem voor full-field trillingsmeting om door lagen, zoals siliciumkappen, optimaal te kunnen meten. Deze gepatenteerde interferometer-technologie levert een uitstekende gegevenskwaliteit dankzij de superieure scheiding van de afzonderlijke lagen van het apparaat.

ingekapselde MEMS

Aangezien silicium transparant is in het nabij-infraroodspectrum boven golflengtes van 1050 nm, opent de onderliggende technologie van infrarood-interferometer-gebaseerde trillingsmeting de mogelijkheid om ingekapselde MEMS te inspecteren voor authentieke en representatievere analyseresultaten. Polytec’s gloednieuwe, gepatenteerde state-of-the-art interferometer technologie levert nu de hoogste datakwaliteit dankzij de superieure scheiding van individuele apparaatlagen in de si-capped MEMS apparaten. Met een speciale SWIR camera en een lage coherentie SLD bron is de MSA-650 IRIS wereldwijd het eerste meetsysteem met deze gepatenteerde technologie om de si-gecapsuleerde apparaten te visualiseren, in-plane trillingen te meten met een resolutie tot 30 nm en real-time out-of-plane trillingen tot 25 MHz met picometer resolutie en lager.

Gebruik de toonaangevende technologie in trillingsanalyse

Om met Laser Doppler vibrometrie (LDV) ingekapselde MEMS te kunnen onderzoeken, moeten de optische eigenschappen van silicium worden bestudeerd. Hoewel silicium ondoorzichtig is voor zichtbaar licht, vertoont het een goede transmissie in het nabij-infrarode bereik vanaf ongeveer 1050 nm. Een beperking voor transmissie is echter de hoge brekingsindex van ongeveer 3,4 bij 1550 nm, wat leidt tot aanzienlijke Fresnel reflecties bij grensvlakken.

De door Polytec gepatenteerde benadering maakt gebruik van kort coherent licht om de nauwkeurigheid te verbeteren. In tegenstelling tot laserlicht interfereert laag coherent licht van een superluminescentiediode alleen als de lichtpaden in de interferometer in balans zijn binnen de coherentielengte van de bron. Daardoor wordt licht van buiten het brandpunt uitgesloten. Dit principe wordt toegepast in wit-licht interferometers of voor optische coherentie tomografie en nu voor het eerst in de Laser Doppler Vibrometry (LDV). Dit maakt scannende LDV-metingen mogelijk met een bandbreedte van 25 MHz en met een amplituderesolutie van 100 fm/√Hz op ingekapselde MEMS.